廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安進(jìn)口分子泵維修廠家真空機(jī)組維修
zhuan業(yè)進(jìn)口分子泵varian瓦里安真空泵維修代理商廣州潽拓光電科技有限公司是varian瓦里安真空泵維修廠家,我們采用zhuan業(yè)的維修修復(fù)工具,同時選擇質(zhì)優(yōu)的配件達(dá)到varian瓦里安真空泵維修后的良好的性能運(yùn)轉(zhuǎn),售后保修,技術(shù)咨詢等售后服務(wù)措施。
多級羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種,在美日等國家較多的應(yīng)用與半導(dǎo)體及化工行業(yè)。它的“多級”是相對于傳統(tǒng)的一個轉(zhuǎn)子的“單級”羅茨真空泵而言,形式上多個轉(zhuǎn)子串聯(lián),中間由中間壁隔離形成多個相對獨(dú)立的泵腔,各級泵腔通過各級的進(jìn)氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級轉(zhuǎn)子的直徑和形狀是相同的,但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話高壓側(cè)方會變窄。真空機(jī)組維修
是真空機(jī)組的抽氣能力不夠還是漏率高;或者兩者兼而有之,需要耐心觀察和記錄,從中找出故障原因,比如,抽空時間相同,而真空度偏低,這時候,關(guān)閉高壓閥,如真空計(jì)指針很快下降,多數(shù)情況是真空室漏了,應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢,多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠,這時可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門的問題上,看是哪里出現(xiàn)了泄漏,或是擴(kuò)散泵油被污染了,氧化了等;或是前級管路密封不好,泵油不足;或是泵有油乳化,軸封漏油,閥片損壞等故障。真空機(jī)組維修
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低溫泵抽氣系統(tǒng)。低溫泵抽氣系統(tǒng)用低溫泵作為主泵,并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵,也可以用機(jī)械泵作為預(yù)抽真空泵,但若是油封機(jī)械泵就必須在機(jī)械泵的入口管路上設(shè)置油蒸氣捕集器。低溫泵抽氣系統(tǒng)不產(chǎn)生碳?xì)浠衔?、金屬膜的剝落碎片以及自身帶來的氣體污染,是一種清潔的抽氣手段。20K的低溫泵可以得到10-8Pa的真空度,4.2K的低溫泵可以得到10-10~10-12Pa的真空度。varian瓦里安分子泵維修費(fèi)用
高通量 Agilent Turbo-V 1K-G 渦輪分子泵是一種專*真空泵系統(tǒng),抽速可達(dá) 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 專為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì),尤其可用作薄膜沉積設(shè)備的渦輪分子泵。其葉片級數(shù)和整個泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化,能夠在高溫負(fù)載和極高*氣流下工作。varian瓦里安分子泵維修費(fèi)用
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分子泵應(yīng)用常見問題:
1、分子泵運(yùn)行以前請確定分子泵安裝妥當(dāng),電纜恰當(dāng)聯(lián)接并確定處在卡緊情況。
2、分子泵在接電源后及一切正常運(yùn)行時旋轉(zhuǎn)工件是由磁場力支撐點(diǎn)飄浮的,請盡.量不必碰觸泵殼及控制板,非常是電纜,肯定不可以碰觸。
電壓的不穩(wěn)定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:單級為6.5×10-2帕,雙級為1×10-3帕。真空渦輪分子泵維修
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